Aurion Anlagentechnik GmbH
Aurion Anlagentechnik GmbH
Plasma Cluster sustavi poduzeća Aurion Anlagentechnik GmbH
AURION nudi višekomorne sustave s vakuumskom obradom podloge, posebno prilagođene vašim zahtjevima. Dostupne konfiguracije uključuju komore za zaključavanje, prijelazne komore i procesne module za proces sputtering i RIE.