Aurion Anlagentechnik GmbH

Visokofrekventne prilagodne mreže

Primjena
Visokofrekventne prilagodne mreže serije PRODIK koriste se za potpuno automatsko prilagođavanje impedancije plazme izlaznoj impedanciji RF generatora nominalne frekvencije 13,56 MHz. Različiti krugovi omogućuju neproblematično i nisko-gubitno usklađivanje dioda, katoda magnetron i velikih ravnih elektroda za PECVD i graviranje (mikroelektronika, tehnologija zaslona itd.).

Mreže (sklopke za prilagodbu) optimizirane su za najveću stabilnost procesa i nude vodeću tehnologiju mjerenja i upravljanja. To rezultira optimalnom jednostavnošću upotrebe i najboljom kontrolom procesa.

Hardver
Naše prilagodne mreže izrađene su u nekompromisno visokoj kvaliteti. Visokokvalitetni vakuumski i keramički kondenzatori, kao i srebrom pozlaćeni vodljivi dijelovi od punog bakra na svim visoko opterećenim točkama, jamče visoku operativnu pouzdanost i reproducibilnost. Kućišta su izrađena od aluminija, a svi poklopci imaju opružne kontakte od bakra i berilija. To osigurava iznimno kvalitetno RF oklopljenje, a istovremeno omogućuje jednostavno otvaranje i zatvaranje jedinica pomoću nekoliko kopči za brzo otpuštanje.

Mjerenje
Na ulazu u matchboxa, preko kapacitivnih podjela napona, bilježe se dva napona na fiksnom kondenzatoru. Dizajnirani su s niskim stupnjem povezivanja, što potiskuje preslušavanje.

Struje se određuju iz razlika napona, čime se eliminiraju sklonim pogreškama mjerenja istosmjerne struje pomoću induktivnih spojki.

Mjereni se naponi bilježe pomoću logaritmičkog pojačala. Ova tehnologija omogućuje najvišu preciznost uz maksimalnu dinamiku.

Ulasne impedancije i (s manjom točnošću) impedancije opterećenja izračunavaju se iz mjernih podataka. Na temelju toga, kontroler određuje optimalne postavke za varijabilne kondenzatore. Ulasna i opterećujuća impedancija mogu se prikazati ili dalje obrađivati od strane sustavnog kontrolera.

Nadalje, na izlazu sklopke za prilagodbu mjeri se DC pomakni potencijal, a sustav za detekciju plazme detektira je li plazma zapaljena.
Koncept upravljanja
Serija PRODIK uvjerava inovativnom tehnologijom senzora i modernom CAN bus tehnologijom s decentraliziranom inteligencijom.

Svi mjerni signali odmah se pretvaraju iz analogne u digitalnu formu (A/D) nakon stjecanja, a zatim se digitalno prenose, i time bez smetnji i gubitaka, putem sabirnice.

Pogoni vakuumskih kondenzatora imaju vlastitu elektroniku (CUB) s upravljačima za motore, sustavom za očitavanje položaja i CAN sučeljem. Komunikacija s centralnim upravljačem koristi kalibraciju izravno u pF. To znači da se cijela predkalibrirana jedinica kondenzatora s pogonom može u potpunosti zamijeniti bez potrebe za bilo kakvim kalibracijskim mjerama. Svi parametri procesa su izravno reproducibilni.

Središnji kontroler, ASC, osim CAN sučelja, standardno ima i RS232 sučelje te Profibus.

Dostupna je univerzalna analogno/digitalna kartica za sučelje (GCT) za integraciju HF generatora. Putem nje ASC može preuzeti potpunu kontrolu nad HF generatorom. To omogućuje, na primjer, upravljanje cjelokupnim HF sustavom, uključujući i generator koji nije opremljen Profibusom, putem Profibus sučelja ASC-a.
Shematski prikaz koncepta upravljanja sustava AURION
Za automatsko podešavanje, kao što je već spomenuto, mjere se dvije napetosti preko fiksnog ulaznog kondenzatora. Na temelju toga izračunava se ulazna impedancija, iz koje se zatim, s nešto smanjenom točnošću, izvedena izlazna ili opterećujuća impedancija. Po želji je moguće izravno izmjeriti tu izlaznu impedanciju i time precizno kontrolirati priključenu snagu.

Putem impedancije opterećenja moguće je odrediti reaktivnu snagu, izlaznu struju i druge parametre relevantne za proces.

Oni se mogu upititi, prikazati i ocijeniti putem konfiguracijskog softvera ETHOS ili dalje obrađivati u sustavu upravljanja pogonom (npr. PLC).

Potpuna modularizacija omogućuje brzu i fleksibilnu, isključivo softversku prilagodbu koncepta upravljanja širokom spektru zahtjeva. Na primjer, dostupne su softverske varijante za rad s brzim vremenom ciklusa i vremenima raspršivanja u rasponu od nekoliko sekundi. U takvim slučajevima klasično automatsko podešavanje ne bi bilo primjenjivo.

Međutim, AURION tehnologija omogućuje kombiniranje stabilnog kratkog procesa isparavanja s automatskom kompenzacijom odstupanja između procesa, čime se ostvaruju sve prednosti.

Priključne mreže serije PRODIK projektirane su prema zahtjevima postrojenja kupca. U tu svrhu dostupni su razni krugovi.